Il sistema di CVD consiste di un sistema di alimentazione del gas, di un forno a tubo a doppia temperatura e di un sistema di scarico. La temperatura massima può raggiungere 1200 gradi, 1400 gradi, 1600 gradi, 1700 gradi e la gamma di riscaldamento può essere zona singola di temperatura, zona doppia di temperatura, zona tripla di temperatura, ecc. Il vuoto finale può raggiungere 10-3Pa. Il sistema di alimentazione del gas è regolato di flusso e può essere un misuratore di portata protone o un misuratore di portata galleggiante,Il numero di canali di aria mista può essere una miscela di 2, 3, 4 e 5 canali.
Questo sistema CVD è costituito da un sistema di alimentazione del gas a 8 canali, un forno a tubi a doppia temperatura TL1700-1400 e un sistema di vuoto
KTL1700-1400 Dual Temperature Zone Tube Furnace: Utilizzando 1800 aste di molibdeno di silicio tipo e barre di carbonio di silicio come elementi riscaldanti, ha due zone di riscaldamento e adotta una struttura a doppio strato della conchiglia e uno strumento elettronico della temperatura di controllo. Ogni zona di riscaldamento può eseguire 30 fasi di controllo programmato della temperatura, trigger di fase-shift e controllo del tiristor. Il forno è fatto del materiale della fibra policristallina dell'allumina e le flange dell'acciaio inossidabile sono installate ad entrambe le estremità del tubo del forno,La flangia dell'acciaio inossidabile è dotata di ugelli d'aria, valvole e manometri. Durante l'aspirazione, il grado di vuoto può raggiungere 10-3 Pa. Il forno è orizzontale e le due zone di temperatura possono essere controllate indipendentemente e impostate a temperature diverse. È facile da usare e funzionare. Il forno ha i vantaggi di campo di temperatura bilanciato, bassa temperatura superficiale, aumento e tasso di caduta veloce della temperatura e risparmio energetico. È una scelta popolare tra le università e gli istituti di ricerca.Prodotti ideali per sinterizzazione dell'atmosfera ad alta temperatura, riduzione dell'atmosfera, esperimenti CVD e ricottura sotto vuoto nelle imprese industriali e minerarie.
(1) Lo spessore caldo D1 dell'asta di molibdeno del silicio è di 7mm, che è comunemente usato dai produttori come 6MM. L'estremità riscaldante è spessa, non facile da piegare e il carico superficiale dell'asta è basso, con conseguente lunga durata.
(2) Adotta la tecnologia di piegatura a caldo, con resistenza uniforme e lunga durata
(3) La lunghezza dell'estremità fredda di Lu è 210mm, Il forno 400X300X300 ha un diametro di 260 e generalmente i produttori usano 180mm. L'estremità fredda è lunga e la temperatura superiore del forno è bassa.
(4) La superficie dell'asta del molibdeno del silicio ha un film denso di ossido amorfo, che può efficacemente proteggere l'asta del molibdeno del silicio.
Quando il circuito sperimenta sovracorrente o perdita, il circuito si scollega automaticamente
Questo forno a tubi dell'atmosferaapprovareDotato di interfacce di comunicazione e software, i vari parametri del forno possono essere controllati direttamente attraverso un computer e i valori di temperatura PV e SV e il funzionamento dello strumento sul forno possono essere osservati dal computer. La curva di riscaldamento effettiva del forno sarà disegnata in tempo reale dal computer e i dati di temperatura in ogni momento possono essere salvati e recuperati in qualsiasi momento.
(1) Forno di solidificazione della fibra policristallina dell'allumina ad alta purezza di alta qualità formato dalla filtrazione di aspirazione a vuoto.
(2) Adottando la tecnologia giapponese per lo stampaggio.
(3) Il materiale del forno ha bassa capacità termica e bassa conducibilità termica, con conseguente minore dissipazione del calore, buon isolamento e alta riflettività. Equilibrio del campo di temperatura.
(4) Il filo dell'allumina del forno è sottile e lungo, con resistenza ad alta temperatura e forte resistenza all'espansione termica e alla contrazione
(5) La superficie del forno è liscia e non soggetta a perdita di polvere.
(Tutti gli apparecchi elettrici importati certificati da UL)
1Attivatore dello spostamento di fase (con avviamento morbido e funzione di limitazione della corrente)
2. funzione di limitazione della corrente: Non importa come il tasso di riscaldamento è impostato, la corrente secondaria del nostro forno elettrico è sempre limitata all'interno di 170A, proteggendo efficacemente l'apparecchiatura. Grazie all'uso della funzione di limitazione della corrente, la porta del forno può essere aperta ad alte temperature. Se il forno elettrico che si utilizza deve limitare il tasso di riscaldamento del forno durante il processo di riscaldamento (ad esempio, è specificato che il tasso di riscaldamento non deve superare 1400 ℃)
Se la temperatura supera 3 ℃/min, vengono utilizzati trigger di limitazione non corrente. La velocità di riscaldamento è impostata in modo errato o la velocità di riscaldamento è troppo veloce e la corrente sarà influenzata in questo casoMolto grande, l'attrezzatura può inciampare o bruciare.
3. funzione di avvio morbido: Quando si avvia, la corrente aumenterà gradualmente, che ha meno impatto sull'elemento riscaldante ed è utile per prolungare la vita dell'elemento riscaldante
4. funzione di protezione: Se la corrente supera la corrente limite, il grilletto interromperà automaticamente la funzione di innesco per tagliare la protezione corrente del forno elettrico.
1. Il cavo del trasformatore è fatto di rame puro
2. Il suono del trasformatore è basso
3. La temperatura corporea del trasformatore è bassa